声明

本文是学习GB-T 13389-2014 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们

1 范围

本标准规定了掺硼、掺磷、掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度之间的换算关系，该换算关系也适用于

掺锑硅单晶，还可扩展至硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。

本标准适用于掺硼浓度10¹⁴ cm⁻³~1×10²°cm-³,掺磷浓度3×10¹³cm⁻³~1×10²cm-3,
掺砷浓 度10¹⁹ cm⁻³~6×10²cm-³。
对掺硼、掺磷的硅单晶掺杂剂浓度可扩展到10¹²cm-³。

本标准也可用于在23℃下从硅单晶电阻率到载流子浓度的换算，但不包括对砷掺杂剂的载流子浓

度换算，或任何其他载流子浓度的换算。

2 规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注明日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T 1550 非本征半导体材料导电类型测试方法

GB/T 1551 硅单晶电阻率测定方法

GB/T 4326 非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法

GB/T 14264 半导体材料术语

3 术语和定义

GB/T 14264 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

自相容性误差 the self-consistency errors

电阻率与掺杂剂浓度之间的换算公式或表格，是以其中一个为变量，拟合实验数据推导出另一个变
量，当使用不同的变量时会产生两个互为补充的公式，例如公式(1)和(2),公式(3)和(4)。由于这些公
式在数学上并不完全等价，因此在使用由此推导出来的公式或表格时将产生微小的差异，该差异称为自

相容性误差。

4 方法提要

电阻率与掺杂剂浓度之间的相互换算是基于掺硼、掺磷硅单晶中两者间的综合经验数据得到的，并
将其扩展到硅中具有相似激活能的其他掺杂剂，根据相同的方法也给出了电阻率与载流子浓度的换算
关系。本标准中将该换算关系表示为公式、曲线以及表格的形式，应用时请特别注意不同公式的适用范

围以及相应的误差。

注1:本标准掺硼、掺磷的换算最初是基于Thurber et al¹2
·的数据，是在(3×10¹³cm⁻³~1×10²°cm⁻³) 的掺磷硅单 晶和(10¹⁴
cm⁻³~1×10²°cm⁻³) 的掺硼硅单晶中获得的。磷数据基于 Esaki 和
Miyahara'的两个块状样品数 据，Fair 和 Tsai⁵
的磷扩散样品数据被用于将数据点扩展到10² cm³ 以上。在10¹cm³
以下增加的虚线部

style="width:3.73997in;height:0.6666in" />GB/T 13389—2014

分是为了提高换算的特性以供低掺杂值的要求。

注2:硅中砷掺杂(10¹ °cm⁻³ ~6×10²cm⁻³)
区域呈现了不同于掺磷的换算曲线，但它仅仅指导从掺杂剂浓度到电
阻率的换算。它是基于Fair 和 Tsai6
用霍尔效应测量得到的掺杂剂浓度范围，10¹ cm³ 以下的掺杂范围亦

可应用掺磷的换算曲线。

注3:无论掺杂剂范围如何，都可以通过测量得到电阻率范围(最常用的电阻率测量方法详见
GB/T 1551),通过各
种技术建立一个完整的掺杂剂数值范围是非常必要的，而这些技术并不一定对半导体中的相同参数都有响
应。本标准中提供的这些换算中，在约10¹⁸ cm⁻³
以下的硼、磷样品被假定可以忽略补偿，因此其掺杂剂浓度
的数据是可以直接使用电流- 电压的测量得到，大于10¹⁸ cm⁻3
的数据是用霍尔效应测量得到的。另外在此范
围，中子活化分析和光谱分析也可以用于确定磷浓度，原子示踪技术可用于确定硼浓度，从这些分析技术中得

到的数据有些是矛盾的，使用的主要数据是由霍尔效应测量给出的(霍尔系数测量方法详见
GB/T 4326)。

5 换 算

5.1 电 阻 率 与 掺 杂 剂 浓 度 的 换 算

5.1.1 掺 硼 硅 单 晶 中 电 阻 率 换 算 掺 杂 剂 浓 度 按 式 ( 1 ) 进 行
：

style="width:4.94656in;height:0.70004in" />

………………

(1)

式 中 ：

p — 电 阻 率 ， 单 位 为 欧 姆 厘 米(Q ·cm);

Nʌ—— 硼 的 掺 杂 剂 浓 度 ， 单 位 为 每 立 方 厘 米(cm⁻³)。

掺 硼 硅 单 晶 从 电 阻 率 换 算 掺 杂 剂 浓 度 见 表 A.1。

5.1.2 掺 硼 硅 单 晶 中 掺 杂 剂 浓 度 换 算 电 阻 率 按 式 ( 2 ) 进 行
：

style="width:6.53327in;height:0.6732in" />

式中：

p — 电阻率，单位为欧姆厘米(Q ·cm);

Nʌ—— 硼的掺杂剂浓度，单位为每立方厘米(cm⁻³)。

掺硼硅单晶从掺杂剂浓度换算电阻率见表 A.2。

5.1.3 掺磷硅单晶中电阻率换算掺杂剂浓度按式(3)进行：

style="width:2.97329in;height:0.70004in" />

式 中 ：

p — 电阻率，单位为欧姆厘米(Ω ·cm);

Np— 磷 的 掺 杂 剂 浓 度 ， 单 位 为 每 立 方 厘 米(cm⁻3);

……………… ( 2)

……………… (3)

;

x =lgp;

A 。=—3. 1083;

A₁=-3.2626;

A₂=- 1.2196;

A₃=-0. 13923;

B₁=1.0265;

B₂=0.38755;

B,=0.041833。

GB/T 13389—2014

掺磷硅单晶从电阻率换算掺杂剂浓度见表 A.3。

5.1.4 掺磷硅单晶中掺杂剂浓度换算电阻率按式(4)进行：

式中：

style="width:2.7601in;height:0.64562in" />

…… ………

(4)

p 电阻率，单位为欧姆厘米(Ω ·cm);

Np—— 磷的掺杂剂浓度，单位为每立方厘米(cm⁻³);

style="width:3.91335in;height:0.68684in" />;

y =(lgNp)- 16;

A 。=-3.0769;

A₁=2.2108;

A₂=-0.62272;

A₃=0.057501;

B₁=-0.68157;

B2=0. 19833;

B₃=-0.018376。

掺磷硅单晶从掺杂剂浓度换算电阻率见表 A.4。

5.1.5 掺砷硅单晶中掺杂剂浓度换算电阻率。

5.1.5.1 当硅单晶中砷的掺杂浓度低于10¹⁹ cm⁻³
时，砷掺杂剂浓度换算电阻率可按掺磷换算公式(4)。

5.1.5.2 当硅单晶中砷的掺杂浓度在(10¹”cm-³
~6×10²cm-3) 范围时，砷的掺杂剂浓度换算电阻率

按式(5)进行：

lgp=-6633.667+AX+BX²+CX³+DX⁴+EX⁵+FX⁶+GX⁷+HX⁸+JX°+KX¹+ …

……………… (5)

式中：

p — 电阻率，单位为欧姆厘米(Ω ·cm);

Np— 砷的掺杂剂浓度，单位为每立方厘米(cm⁻³);

X =lgNp;

A =768.2531;

B =-25.77373;

C =0.9658177;

D =-0.05643443;

E =-8.008543×10-;

F =9.055838×10-5;

G =- 1.776701×10-6;

H =1.953279×10-7;

J =-5.754599×10-9;

K =- 1.31657×10- 1。

硅单晶中砷的掺杂浓度在10¹⁹ cm⁻³ ~6×10²cm⁻³
范围时，从砷的掺杂剂浓度换算电阻率见表A.5。

5.1.6
掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的关系曲线见图1。每种掺杂剂与电阻率的对应数据

见附录 A。

GB/T 13389—2014

style="width:10.50011in;height:10.95336in" />

图 1 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的关系曲线

注1:掺杂剂浓度和电阻率间换算关系如图1所示，实线显示了对硅中掺硼、磷、砷有效数据范围的换算，虚线显示

的是从硅中硼、磷掺杂数据外推的部分。

注2:本标准中的换算图呈现的电阻率到掺杂剂浓度和掺杂剂浓度到电阻率的换算是等价的，但是不包括补充方程

式给出的数据，因为该部分数据不能精确的相等。

5.2 电阻率与载流子浓度的换算

5.2.1 掺硼硅单晶从电阻率值换算载流子(空穴)浓度按式(6)进行：

style="width:2.04659in;height:0.67342in" />

………………

(6)

式 中 ：

p—— 载流子(空穴)浓度，单位为每立方厘米(cm⁻³);

p— 电阻率，单位为欧姆厘米(Ω ·cm);

style="width:6.30671in;height:0.63998in" />

对掺硼硅单晶，当电阻率大于0. 1 Q ·cm 时，第二项非常小，可以忽略，这时V
简化为：

style="width:4.1267in;height:0.67342in" />GB/T 13389—2014

style="width:3.00003in;height:0.69322in" />

掺硼硅单晶从电阻率换算载流子(空穴)浓度见表 A.6。

5.2.2 掺磷硅单晶从电阻率换算载流子(电子)浓度按式(7)进行：

式中：

style="width:2.75333in;height:0.68566in" />

………………

(7)

n—— 载流子(电子)浓度，单位为每立方厘米(cm⁻³);

p— 电阻率，单位为欧姆厘米(Ω ·cm);

;

x =lgp;

A 。=-3. 1122;

A₁=-3.3347;

A₂=- 1.261;

A:=-0. 15701;

B₁=1.0463;

B₂=0.39941;

B₃=0.049746。

掺 磷 硅 单 晶 从 电 阻 率 换 算 载 流 子 ( 电 子 ) 浓 度 见 表 A.7。

5.2.3 在 图 1 曲 线 中 很 难 看 出 电 阻 率 换 算 载 流 子 浓 度 和 掺
杂 剂 浓 度 之 间 的 差 异 ， 图 2 显 示 了 掺 硼 的 空

穴 和 掺 磷 的 电 子 浓 度 的 关 系 。

style="width:7.62012in;height:4.12445in" />

电阻率/(Ω ·cm)

图 2 硼 掺 杂 和 磷 掺 杂 下 的 掺 杂 剂 浓 度 和 载 流 子 浓 度 的 比

注：电阻率和载流子浓度的换算与电阻率和掺杂剂浓度换算的自相容性差异很小。载流子浓度换算的自相容性误

差在量级上与图2类似，它是假定了在这区域的一些函数上使用适宜的程序，而非物理方法。事实上，在载流

子浓度超过掺杂剂浓度的区域不是来自于试验。然而，在0 . 007Ω · cm～0.2Ω ·cm

的 磷 掺 杂 和
0.007 Ω ·cm～0.5Ω ·cm 以及>10Ω ·cm 的硼掺杂硅单晶中，很接近真实情况。

6 干 扰 因 素

6.1 由 于 测 量 硅 单 晶 的 电 阻 率 和 杂 质 浓 度 具 有 不 同 的 方 法
， 而 通 常 情 况 下 一 种 方 法 只 能 测 量 两 者 中 的

GB/T 13389—2014

一个参数，因此应采用有效的测量方法避免换算带来的误差。

6.2
由于电阻率是随温度而变化，而掺杂剂浓度与温度关系不大，因此本标准中是以23℃时的硅单晶
电阻率作为换算值。

6.3
使用本标准用电阻率值来推算载流子浓度容易带来误差。同样在23℃下，当掺杂剂浓度较低时
(约小于10'⁷ cm⁻³
时),掺杂剂浓度和载流子浓度非常接近；当掺杂剂浓度约为10¹⁷ cm⁻³~10¹°cm⁻³
时，由于杂质的不完全电离，掺杂剂浓度大于载流子浓度，因此在同一样品中，通常两者不是同一数值；
当掺杂剂浓度高于10¹ cm⁻³
时，由于杂质能级发生简并，载流子浓度一般等于掺杂剂浓度；但是，当浓
度更高时，特别是像掺磷或掺砷的硅单晶中，由于形成包含杂质原子在内的化合物或络合物的可能性较
大，将妨碍部分掺杂原子变为电活性；当掺杂剂浓度大于固溶度时，则产生沉淀。从电阻率导出载流子
浓度应按本标准5.2进行。

6.4
本标准对重掺磷硅单晶给出了电阻率与掺杂剂浓度的关系式，其浓度值最初是用霍尔效应测量得
到的，由于霍尔效应测量这些重掺样品的载流子浓度时是假定所有原子都被电离，也就是说，霍尔效应
测量得到的掺杂剂浓度等于载流子浓度。但在高浓度下，众所周知磷-空位对的形成会减少电活性磷原
子，因此霍尔效应测量可能由于磷-空位对的存在而使测量值低于实际的掺杂剂浓度。

6.5
其他掺杂剂的换算影响。到目前为止尚未建立硅中掺硼、掺磷和掺砷以外的电阻率与掺杂剂浓度
间的换算关系，但是在轻掺杂范围(小于10¹⁷ cm-3)
内，对其他掺杂剂换算关系有足够的准确性预期；在 10¹⁷ cm⁻³~10¹cm⁻³
范围，由于不同掺杂剂的电离能不同，使得相同掺杂剂浓度的样品测出的电阻率
值不同，对于P 型掺杂剂，由于电离能相差较大，测出的电阻率差值要比 N
型掺杂剂的电阻率差值大， 对重掺杂(浓度高于10¹ cm-3)
时，由于包含掺杂原子、晶体缺陷或其他杂质络合物的形成，导致荷电载
流子数量的改变。该影响程度取决于特定的杂质种类，可能和掺杂剂浓度与该掺杂剂在硅中的固溶度
之比有关。因此在该浓度范围之上，除了硼、磷之外，对其他掺杂剂的换算适用性尚不清楚。

6.6
补偿的影响：补偿通常发生在半导体中存在施主和受主两个掺杂杂质的情况，在这种情况下，净掺
杂浓度是受主掺杂浓度和施主掺杂浓度间差异的绝对值。补偿也可以发生在深能级杂质或缺陷的存在
数量相比掺杂杂质不可忽略时，在这种情况下，载流子浓度取决于各种参数。用于本标准换算的数据都
是在假定样品是非补偿的情况下获得的，在样品中测量的净掺杂浓度是等于样品内的掺杂剂总浓度，对
于有明显补偿的样品，本标准换算不适用。

6.7
许多其他电活性中心的存在可能改变自由载流子的数目，或明显的改变载流子迁移率，而这两者
中的任一项都会带来对电阻率值的影响，这些电活性中心包括：使用中子嬗变掺杂或离子注入带来的晶
格损伤、由化学杂质(典型的重金属)以及其他有害或为控制少数载流子寿命而有意引入的深能级中心、
非有意的掺入，如电活性氧。当这些影响中的任何一项出现时，本标准的换算不适用。

6.8
本标准中硅的重掺砷的换算关系仅适用于本标准给出的掺杂浓度范围，因为这时从方程式计算的
电阻率值会迅速偏离实际值。使用外推法显示了与硼和磷的方程式的比对，但准确度无法估计。本标
准设定了掺杂剂浓度和电阻率的关系，但浓度的数值范围是由霍尔效应测量得到的，因此与重掺磷的换
算有同样的限制。与硼、磷基本数据使用的直拉掺杂硅片不同，本标准中砷的换算关系是在向硅片中扩
散或注入砷的样品上获得的。

注
： 掺砷的掺杂剂浓度间的关系的研究是在直拉掺杂单晶生长的硅片上进行的，1×10¹⁸
cm⁻³~1×10¹°cm⁻³ 区 域 的数据是由Newman³ 提供的，Newman
使用中子活化测量掺杂浓度，霍尔效应测量载流子浓度。在大于6× 10²cm⁻³
区域应用了Masetti 的讨论。对于2×10¹⁹ cm⁻³~10²cm⁻³
范围的掺砷样品是由Fair和Tsai 向硅
片中扩散或注入砷得到的，0112,该换算关系与Irvin³在n
型样品中获得的换算关系一致，见附录B。

7 精密度

7.1 对掺硼(0.0001～10000)Ω · cm, 即(10¹²cm⁻³~10²¹cm-³)
范围，从电阻率换算掺杂剂浓度及从

GB/T 13389—2014

掺杂剂浓度换算电阻率的自相容性误差在3%以内；对掺磷(0.0002～4000)Ω ·cm,
即10¹³cm⁻ 3~ 10²0cm⁻³
范围，从电阻率换算掺杂剂浓度及从掺杂剂浓度换算电阻率的自相容性误差在4.5%以内。
当磷的浓度大于5×10² cm⁻³
时，误差将迅速增加。硅单晶中硼、磷换算的自相容性误差在图3中

给出。

style="width:5.91998in;height:5.02678in" />

电阻率/ (Q ·cm)

图 3 换算引入的相对误差

注： 对于一给定的电阻率值(如1.00Ω ·cm 的 P
型掺硼硅),通过公式(1)换算得到的掺杂剂浓度值为(1 .46× 10¹⁶ cm⁻³),
但是使用公式(2)的掺杂剂浓度导出的电阻率值不等于最初值(1.02 Ω ·cm),
两者之间产生了2%

的自相容性误差。

7.2
对掺砷硅单晶，只有从掺杂剂浓度换算电阻率的关系，因此不存在自相容的问题。

GB/T 13389—2014

附 录 A

(规范性附录)

硅单晶电阻率与掺杂剂浓度、载流子浓度的换算

表 A.1 掺硼硅单晶从电阻率换算掺杂剂浓度

电阻率

0

0.1

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7

0.8

0.9

1.00E-04

1.21E+21

1.10E+21

1.01E+21

9.31E+20

8.64E+20

8.06E+20

7.56E+20

7.11E+20

6.71E+20

6.36E+20

2.00E-04

6.04E+20

5.75E+20

5.49E+20

5.25E+20

5.03E+20

4.82E+20

4.64E+20

4.46E+20

4.30E+20

4.15E+20

3.00E-04

4.01E+20

3.88E+20

3.76E+20

3.64E+20

3.54E+20

3.43E+20

3.34E+20

3.25E+20

3.16E+20

3.08E+20

4.00E-04

3.00E+20

2.92E+20

2.85E+20

2.79E+20

2.72E+20

2.66E+20

2.60E+20

2.55E+20

2.49E+20

2.44E+20

5.00E-04

2.39E+20

2.34E+20

2.30E+20

2.25E+20

2.21E+20

2.17E+20

2.13E+20

2.09E+20

2.05E+20

2.02E+20

6.00E-04

1.98E+20

1.95E+20

1.92E+20

1.89E+20

1.86E+20

1.83E+20

1.80E+20

1.77E+20

1.75E+20

1.72E+20

7.00E-04

1.69E+20

1.67E+20

1.65E+20

1.62E+20

1.60E+20

1.58E+20

1.56E+20

1.54E+20

1.52E+20

1.50E+20

8.00E-04

1.48E+20

1.46E+20

1.44E+20

1.42E+20

1.41E+20

1.39E+20

1.37E+20

1.36E+20

1.34E+20

1.32E+20

9.00E-04

1.31E+20

1.29E+20

1.28E+20

1.26E+20

1.25E+20

1.24E+20

1.22E+20

1.21E+20

1.20E+20

1.19E+20

1.00E-03

1.17E+20

1.06E+20

9.70E+19

8.92E+19

8.25E+19

7.67E+19

7.17E+19

6.72E+19

6.32E+19

5.96E+19

2.00E-03

5.64E+19

5.35E+19

5.09E+19

4.85E+19

4.63E+19

4.43E+19

4.24E+19

4.07E+19

3.91E+19

3.76E+19

3.00E-03

3.62E+19

3.49E+19

3.37E+19

3.25E+19

3.15E+19

3.04E+19

2.95E+19

2.86E+19

2.77E+19

2.69E+19

4.00E-03

2.61E+19

2.54E+19

2.47E+19

2.40E+19

2.34E+19

2.28E+19

2.22E+19

2.17E+19

2.11E+19

2.06E+19

5.00E-03

2.01E+19

1.97E+19

1.92E+19

1.88E+19

1.84E+19

1.80E+19

1.76E+19

1.72E+19

1.69E+19

1.65E+19

6.00E-03

1.62E+19

1.59E+19

1.56E+19

1.52E+19

1.50E+19

1.47E+19

1.44E+19

1.41E+19

1.39E+19

1.36E+19

7.00E-03

1.34E+19

1.32E+19

1.29E+19

1.27E+19

1.25E+19

1.23E+19

1.21E+19

1.19E+19

1.17E+19

1.15E+19

8.00E-03

1.13E+19

1.11E+19

1.10E+19

1.08E+19

1.06E+19

1.05E+19

1.03E+19

1.02E+19

1.00E+19

9.88E+18

9.00E-03

9.74E+18

9.60E+18

9.46E+18

9.33E+18

9.20E+18

9.08E+18

8.95E+18

8.83E+18

8.71E+18

8.60E+18

1.00E-02

8.49E+18

7.48E+18

6.65E+18

5.97E+18

5.39E+18

4.89E+18

4.47E+18

4.10E+18

3.77E+18

3.49E+18

2.00E-02

3.24E+18

3.02E+18

2.82E+18

2.64E+18

2.48E+18

2.33E+18

2.20E+18

2.07E+18

1.96E+18

1.86E+18

3.00E-02

1.77E+18

1.68E+18

1.60E+18

1.53E+18

1.46E+18

1.40E+18

1.34E+18

1.28E+18

1.23E+18

1.18E+18

4.00E-02

1.14E+18

1.09E+18

1.05E+18

1.01E+18

9.79E+17

9.46E+17

9.14E+17

8.84E+17

8.55E+17

8.28E+17

5.00E-02

8.03E+17

7.78E+17

7.55E+17

7.33E+17

7.12E+17

6.92E+17

6.73E+17

6.55E+17

6.37E+17

6.21E+17

6.00E-02

6.05E+17

5.89E+17

5.75E+17

5.61E+17

5.47E+17

5.34E+17

5.22E+17

5.10E+17

4.98E+17

4.87E+17

7.00E-02

4.76E+17

4.66E+17

4.56E+17

4.47E+17

4.37E+17

4.28E+17

4.20E+17

4.12E+17

4.03E+17

3.96E+17

8.00E-02

3.88E+17

3.81E+17

3.74E+17

3.67E+17

3.60E+17

3.54E+17

3.48E+17

3.42E+17

3.36E+17

3.30E+17

9.00E-02

3.24E+17

3.19E+17

3.14E+17

3.09E+17

3.04E+17

2.99E+17

2.94E+17

2.90E+17

2.85E+17

2.81E+17

1.00E-01

2.77E+17

2.40E+17

2.11E+17

1.88E+17

1.69E+17

1.53E+17

1.40E+17

1.28E+17

1.18E+17

1.10E+17

2.00E-01

1.03E+17

9.59E+16

9.01E+16

8.49E+16

8.02E+16

7.60E+16

7.22E+16

6.88E+16

6.56E+16

6.27E+16

3.00E-01

6.00E+16

5.76E+16

5.53E+16

5.32E+16

5.13E+16

4.94E+16

4.77E+16

4.61E+16

4.47E+16

4.32E+16

GB/T 13389—2014

表 A.1 ( 续 )

电阻率

0

0.1

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7

0.8

0.9

4.00E-01

4.19E+16

4.07E+16

3.95E+16

3.84E+16

3.74E+16

3.64E+16

3.54E+16

3.45E+16

3.37E+16

3.28E+16

5.00E-01

3.21E+16

3.13E+16

3.06E+16

2.99E+16

2.93E+16

2.87E+16

2.81E+16

2.75E+16

2.69E+16

2.64E+16

6.00E-01

2.59E+16

2.54E+16

2.49E+16

2.45E+16

2.41E+16

2.36E+16

2.32E+16

2.28E+16

2.24E+16

2.21E+16

7.00E-01

2.17E+16

2.14E+16

2.10E+16

2.07E+16

2.04E+16

2.01E+16

1.98E+16

1.95E+16

1.92E+16

1.89E+16

8.00E-01

1.87E+16

1.84E+16

1.82E+16

1.79E+16

1.77E+16

1.75E+16

1.72E+16

1.70E+16

1.68E+16

1.66E+16

9.00E-01

1.64E+16

1.62E+16

1.60E+16

1.58E+16

1.56E+16

1.54E+16

1.53E+16

1.51E+16

1.49E+16

1.47E+16

1.00E+00

1.46E+16

1.31E+16

1.20E+16

1.10E+16

1.01E+16

9.42E+15

8.79E+15

8.25E+15

7.76E+15

7.34E+15

2.00E+00

6.95E+15

6.61E+15

6.29E+15

6.01E+15

5.75E+15

5.51E+15

5.29E+15

5.09E+15

4.90E+15

4.72E+15

3.00E+00

4.56E+15

4.41E+15

4.27E+15

4.14E+15

4.01E+15

3.89E+15

3.78E+15

3.68E+15

3.58E+15

3.48E+15

4.00E+00

3.40E+15

3.31E+15

3.23E+15

3.15E+15

3.08E+15

3.01E+15

2.94E+15

2.88E+15

2.82E+15

2.76E+15

5.00E+00

2.70E+15

2.65E+15

2.60E+15

2.55E+15

2.50E+15

2.45E+15

2.41E+15

2.37E+15

2.33E+15

2.29E+15

6.00E+00

2.25E+15

2.21E+15

2.17E+15

2.14E+15

2.10E+15

2.07E+15

2.04E+15

2.01E+15

1.98E+15

1.95E+15

7.00E+00

1.92E+15

1.89E+15

1.87E+15

1.84E+15

1.82E+15

1.79E+15

1.77E+15

1.74E+15

1.72E+15

1.70E+15

8.00E+00

1.68E+15

1.66E+15

1.64E+15

1.62E+15

1.60E+15

1.58E+15

1.56E+15

1.54E+15

1.52E+15

1.51E+15

9.00E+00

1.49E+15

1.47E+15

1.46E+15

1.44E+15

1.43E+15

1.41E+15

1.40E+15

1.38E+15

1.37E+15

1.35E+15

1.00E+01

1.34E+15

1.22E+15

1.12E+15

1.03E+15

9.55E+14

8.91E+14

8.35E+14

7.86E+14

7.42E+14

7.03E+14

2.00E+01

6.67E+14

6.35E+14

6.06E+14

5.80E+14

5.56E+14

5.33E+14

5.13E+14

4.94E+14

4.76E+14

4.60E+14

3.00E+01

4.44E+14

4.30E+14

4.17E+14

4.04E+14

3.92E+14

3.81E+14

3.70E+14

3.60E+14

3.51E+14

3.42E+14

4.00E+01

3.33E+14

3.25E+14

3.17E+14

3.10E+14

3.03E+14

2.96E+14

2.90E+14

2.83E+14

2.77E+14

2.72E+14

5.00E+01

2.66E+14

2.61E+14

2.56E+14

2.51E+14

2.47E+14

2.42E+14

2.38E+14

2.34E+14

2.30E+14

2.26E+14

6.00E+01

2.22E+14

2.18E+14

2.15E+14

2.11E+14

2.08E+14

2.05E+14

2.02E+14

1.99E+14

1.96E+14

1.93E+14

7.00E+01

1.90E+14

1.87E+14

1.85E+14

1.82E+14

1.80E+14

1.77E+14

1.75E+14

1.73E+14

1.71E+14

1.68E+14

8.00E+01

1.66E+14

1.64E+14

1.62E+14

1.60E+14

1.58E+14

1.57E+14

1.55E+14

1.53E+14

1.51E+14

1.50E+14

9.00E+01

1.48E+14

1.46E+14

1.45E+14

1.43E+14

1.42E+14

1.40E+14

1.39E+14

1.37E+14

1.36E+14

1.34E+14

1.00E+02

1.33E+14

1.21E+14

1.11E+14

1.02E+14

9.50E+13

8.87E+13

8.32E+13

7.83E+13

7.39E+13

7.00E+13

2.00E+02

6.65E+13

6.34E+13

6.05E+13

5.78E+13

5.54E+13

5.32E+13

5.12E+13

4.93E+13

4.75E+13

4.59E+13

3.00E+02

4.43E+13

4.29E+13

4.16E+13

4.03E+13

3.91E+13

3.80E+13

3.69E+13

3.60E+13

3.50E+13

3.41E+13

4.00E+02

3.33E+13

3.24E+13

3.17E+13

3.09E+13

3.02E+13

2.96E+13

2.89E+13

2.83E+13

2.77E+13

2.71E+13

5.00E+02

2.66E+13

2.61E+13

2.56E+13

2.51E+13

2.46E+13

2.42E+13

2.38E+13

2.33E+13

2.29E+13

2.25E+13

6.00E+02

2.22E+13

2.18E+13

2.15E+13

2.11E+13

2.08E+13

2.05E+13

2.02E+13

1.99E+13

1.96E+13

1.93E+13

7.00E+02

1.90E+13

1.87E+13

1.85E+13

1.82E+13

1.80E+13

1.77E+13

1.75E+13

1.73E+13

1.71E+13

1.68E+13

8.00E+02

1.66E+13

1.64E+13

1.62E+13

1.60E+13

1.58E+13

1.56E+13

1.55E+13

1.53E+13

1.51E+13

1.49E+13

9.00E+02

1.48E+13

1.46E+13

1.45E+13

1.43E+13

1.41E+13

1.40E+13

1.39E+13

1.37E+13

1.36E+13

1.34E+13

1.00E+03

1.33E+13

1.21E+13

1.11E+13

1.02E+13

9.50E+12

8.87E+12

8.31E+12

7.82E+12

7.39E+12

7.00E+12

GB/T 13389—2014

表 A.1 ( 续 )

电阻率

0

0.1

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7

0.8

0.9

2.00E+03

6.65E+12

6.33E+12

6.05E+12

5.78E+12

5.54E+12

5.32E+12

5.12E+12

4.93E+12

4.75E+12

4.59E+12

3.00E+03

4.43E+12

4.29E+12

4.16E+12

4.03E+12

3.91E+12

3.80E+12

3.69E+12

3.59E+12

3.50E+12

3.41E+12

4.00E+03

3.33E+12

3.24E+12

3.17E+12

3.09E+12

3.02E+12

2.96E+12

2.89E+12

2.83E+12

2.77E+12

2.71E+12

5.00E+03

2.66E+12

2.61E+12

2.56E+12

2.51E+12

2.46E+12

2.42E+12

2.38E+12

2.33E+12

2.29E+12

2.25E+12

6.00E+03

2.22E+12

2.18E+12

2.15E+12

2.11E+12

2.08E+12

2.05E+12

2.02E+12

1.99E+12

1.96E+12

1.93E+12

7.00E+03

1.90E+12

1.87E+12

1.85E+12

1.82E+12

1.80E+12

1.77E+12

1.75E+12

1.73E+12

1.71E+12

1.68E+12

8.00E+03

1.66E+12

1.64E+12

1.62E+12

1.60E+12

1.58E+12

1.56E+12

1.55E+12

1.53E+12

1.51E+12

1.49E+12

9.00E+03

1.48E+12

1.46E+12

1.45E+12

1.43E+12

1.41E+12

1.40E+12

1.39E+12

1.37E+12

1.36E+12

1.34E+12

1.00E+04

1.33E+12

1.21E+12

1.11E+12

1.02E+12

9.50E+11

8.87E+11

8.31E+11

7.82E+11

7.39E+11

7.00E+11

2.00E+04

6.65E+11

6.33E+11

6.05E+11

5.78E+11

5.54E+11

5.32E+11

5.12E+11

4.93E+11

4.75E+11

4.59E+11

3.00E+04

4.43E+11

4.29E+11

4.16E+11

4.03E+11

3.91E+11

3.80E+11

3.69E+11

3.59E+11

3.50E+11

3.41E+11

4.00E+04

3.33E+11

3.24E+11

3.17E+11

3.09E+11

3.02E+11

2.96E+11

2.89E+11

2.83E+11

2.77E+11

2.71E+11

5.00E+04

2.66E+11

2.61E+11

2.56E+11

2.51E+11

2.46E+11

2.42E+11

2.38E+11

2.33E+11

2.29E+11

2.25E+11

6.00E+04

2.22E+11

2.18E+11

2.15E+11

2.11E+11

2.08E+11

2.05E+11

2.02E+11

1.99E+11

1.96E+11

1.93E+11

7.00E+04

1.90E+11

1.87E+11

1.85E+11

1.82E+11

1.80E+11

1.77E+11

1.75E+11

1.73E+11

1.71E+11

1.68E+11

8.00E+04

1.66E+11

1.64E+11

1.62E+11

1.60E+11

1.58E+11

1.56E+11

1.55E+11

1.53E+11

1.51E+11

1.49E+11

9.00E+04

1.48E+11

1.46E+11

1.45E+11

1.43E+11

1.41E+11

1.40E+11

1.39E+11

1.37E+11

1.36E+11

1.34E+11

表 A.2 掺硼硅单晶从掺杂剂浓度换算电阻率

浓度

0.0

0.1

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7

0.8

0.9

1E+12

1.31E+04

1.19E+04

1.09E+04

1.00E+04

9.32E+03

8.70E+03

8.16E+03

7.68E+03

7.25E+03

6.87E+03

2E+12

6.53E+03

6.22E+03

5.93E+03

5.68E+03

5.44E+03

5.22E+03

5.02E+03

4.83E+03

4.66E+03

4.50E+03

3E+12

4.35E+03

4.21E+03

4.08E+03

3.96E+03

3.84E+03

3.73E+03

3.63E+03

3.53E+03

3.44E+03

3.35E+03

4E+12

3.26E+03

3.18E+03

3.11E+03

3.04E+03

2.97E+03

2.90E+03

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GB/T 13389—2014

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1.24E-03

1.23E-03

1.21E-03

1.20E-03

1.19E-03

1.18E-03

1E+20

1.17E-03

1.07E-03

9.83E-04

9.11E-04

8.49E-04

7.95E-04

7.47E-04

7.05E-04

6.67E-04

6.33E-04

2E+20

6.02E-04

5.75E-04

5.49E-04

5.26E-04

5.05E-04

4.85E-04

4.67E-04

4.50E-04

4.35E-04

4.20E-04

3E+20

4.06E-04

3.94E-04

3.82E-04

3.70E-04

3.60E-04

3.50E-04

3.40E-04

3.31E-04

3.23E-04

3.15E-04

4E+20

3.07E-04

3.00E-04

2.93E-04

2.86E-04

2.80E-04

2.73E-04

2.68E-04

2.62E-04

2.57E-04

2.52E-04

5E+20

2.47E-04

2.42E-04

2.37E-04

2.33E-04

2.29E-04

2.25E-04

2.21E-04

2.17E-04

2.13E-04

2.10E-04

6E+20

2.06E-04

2.03E-04

2.00E-04

1.96E-04

1.93E-04

1.90E-04

1.88E-04

1.85E-04

1.82E-04

1.80E-04

7E+20

1.77E-04

1.75E-04

1.72E-04

1.70E-04

1.68E-04

1.65E-04

1.63E-04

1.61E-04

1.59E-04

1.57E-04

8E+20

1.55E-04

1.53E-04

1.51E-04

1.50E-04

1.48E-04

1.46E-04

1.45E-04

1.43E-04

1.41E-04

1.40E-04

9E+20

1.38E-04

1.37E-04

1.35E-04

1.34E-04

1.32E-04

1.31E-04

1.30E-04

1.28E-04

1.27E-04

1.26E-04

GB/T 13389—2014

表 A.3 掺磷硅单晶从电阻率换算掺杂剂浓度

电阻率

0

0.1

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7

0.8

 0.9

1.00E-04

1.63E+21

1.39E+21

1.06E+21

9.43E+20

8.47E+20

7.68E+20

7.01E+20

6.44E+20

5.95E+20

2.00E-04

5.52E+20

5.15E+20

4.53E+20

4.27E+20

4.03E+20

3.82E+20

3.63E+20

3.46E+20

3.30E+20

3.00E-04

3.15E+20

3.02E+20

2.78E+20

2.67E+20

2.58E+20

2.48E+20

2.40E+20

2.32E+20

2.24E+20

4.00E-04

2.17E+20

2.11E+20

1.98E+20

1.93E+20

1.87E+20

1.82E+20

1.78E+20

1.73E+20

1.69E+20

5.00E-04

1.65E+20

1.61E+20

1.53E+20

1.50E+20

1.47E+20

1.44E+20

1.41E+20

1.38E+20

1.35E+20

6.00E-04

1.32E+20

1.30E+20

1.25E+20

1.23E+20

1.20E+20

1.18E+20

1.16E+20

1.14E+20

1.12E+20

7.00E-04

1.10E+20

1.09E+20

1.05E+20

1.04E+20

1.02E+20

1.00E+20

9.90E+19

9.75E+19

9.61E+19

8.00E-04

9.48E+19

9.34E+19

9.09E+19

8.97E+19

8.85E+19

8.73E+19

8.62E+19

8.51E+19

8.40E+19

9.00E-04

8.30E+19

8.19E+19

8.00E+19

7.90E+19

7.81E+19

7.72E+19

7.63E+19

7.54E+19

7.46E+19

1.00E-03

7.38E+19

6.64E+19

5.53E+19

5.11E+19

4.74E+19

4.42E+19

4.14E+19

3.90E+19

3.68E+19

2.00E-03

3.48E+19

3.30E+19

2.99E+19

2.86E+19

2.73E+19

2.62E+19

2.51E+19

2.41E+19

2.32E+19

3.00E-03

2.24E+19

2.16E+19

2.01E+19

1.94E+19

1.88E+19

1.82E+19

1.76E+19

1.71E+19

1.66E+19

4.00E-03

1.61E+19

1.56E+19

1.47E+19

1.43E+19

1.40E+19

1.36E+19

1.32E+19

1.29E+19

1.26E+19

5.00E-03

1.22E+19

1.19E+19

1.14E+19

1.11E+19

1.08E+19

1.06E+19

1.03E+19

1.01E+19

9.88E+18

6.00E-03

9.66E+18

9.44E+18

9.04E+18

8.84E+18

8.66E+18

8.48E+18

8.30E+18

8.13E+18

7.96E+18

7.00E-03

7.80E+18

7.65E+18

7.35E+18

7.20E+18

7.06E+18

6.93E+18

6.80E+18

6.67E+18

6.54E+18

8.00E-03

6.42E+18

6.30E+18

6.07E+18

5.96E+18

5.86E+18

5.75E+18

5.65E+18

5.55E+18

5.46E+18

9.00E-03

5.36E+18

5.27E+18

5.09E+18

5.01E+18

4.92E+18

4.84E+18

4.76E+18

4.68E+18

4.61E+18

1.00E-02

4.53E+18

3.87E+18

2.91E+18

2.55E+18

2.25E+18

2.00E+18

1.78E+18

1.60E+18

1.45E+18

2.00E-02

1.31E+18

1.20E+18

1.00E+18

9.26E+17

8.56E+17

7.94E+17

7.39E+17

6.89E+17

6.44E+17

3.00E-02

6.04E+17

5.68E+17

5.05E+17

4.77E+17

4.52E+17

4.29E+17

4.08E+17

3.88E+17

3.70E+17

4.00E-02

3.53E+17

3.38E+17

3.10E+17

2.98E+17

2.86E+17

2.75E+17

2.65E+17

2.55E+17

2.46E+17

5.00E-02

2.37E+17

2.29E+17

2.15E+17

2.08E+17

2.02E+17

1.95E+17

1.90E+17

1.84E+17

1.79E+17

6.00E-02

1.74E+17

1.69E+17

1.61E+17

1.56E+17

1.53E+17

1.49E+17

1.45E+17

1.42E+17

1.38E+17

7.00E-02

1.35E+17

1.32E+17

1.27E+17

1.24E+17

1.21E+17

1.19E+17

1.16E+17

1.14E+17

1.12E+17

8.00E-02

1.10E+17

1.08E+17

1.04E+17

1.02E+17

9.99E+16

9.81E+16

9.64E+16

9.48E+16

9.32E+16

9.00E-02

9.16E+16

9.01E+16

8.73E+16

8.59E+16

8.45E+16

8.32E+16

8.20E+16

8.07E+16

7.96E+16

1.00E-01

7.84E+16

6.83E+16

5.40E+16

4.88E+16

4.45E+16

4.09E+16

3.78E+16

3.51E+16

3.27E+16

2.00E-01

3.07E+16

2.88E+16

2.58E+16

2.45E+16

2.33E+16

2.22E+16

2.12E+16

2.03E+16

1.95E+16

3.00E-01

1.87E+16

1.80E+16

1.67E+16

1.61E+16

1.56E+16

1.51E+16

1.46E+16

1.42E+16

1.38E+16

4.00E-01

1.34E+16

1.30E+16

1.23E+16

1.20E+16

1.17E+16

1.14E+16

1.11E+16

1.09E+16

1.06E+16

5.00E-01

1.04E+16

1.02E+16

9.73E+15

9.53E+15

9.34E+15

9.15E+15

8.97E+15

8.80E+15

8.64E+15

6.00E-01

8.48E+15

8.32E+15

8.03E+15

7.89E+15

7.76E+15

7.63E+15

7.51E+15

7.39E+15

7.27E+15

7.00E-01

7.16E+15

7.05E+15

6.84E+15

6.73E+15

6.64E+15

6.54E+15

6.45E+15

6.36E+15

6.27E+15

GB/T 13389—2014

表 A.3 (续)

电阻率

0

0.1

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7

0.8

0.9

8.00E-01

6.19E+15

6.10E+15

5.95E+15

5.87E+15

5.79E+15

5.72E+15

5.65E+15

5.58E+15

5.51E+15

9.00E-01

5.45E+15

5.38E+15

5.26E+15

5.20E+15

5.14E+15

5.08E+15

5.03E+15

4.97E+15

4.92E+15

1.00E+00

4.86E+15

4.39E+15

3.68E+15

3.40E+15

3.16E+15

2.95E+15

2.77E+15

2.61E+15

2.47E+15

2.00E+00

2.34E+15

2.22E+15

2.02E+15

1.93E+15

1.85E+15

1.78E+15

1.71E+15

1.65E+15

1.59E+15

3.00E+00

1.53E+15

1.48E+15

1.39E+15

1.35E+15

1.31E+15

1.27E+15

1.23E+15

1.20E+15

1.17E+15

4.00E+00

1.14E+15

1.11E+15

1.06E+15

1.03E+15

1.01E+15

9.86E+14

9.64E+14

9.43E+14

9.24E+14

5.00E+00

9.05E+14

8.86E+14

8.52E+14

8.36E+14

8.20E+14

8.05E+14

7.91E+14

7.77E+14

7.63E+14

6.00E+00

7.50E+14

7.37E+14

7.13E+14

7.02E+14

6.91E+14

6.80E+14

6.70E+14

6.60E+14

6.50E+14

7.00E+00

6.40E+14

6.31E+14

6.13E+14

6.05E+14

5.97E+14

5.89E+14

5.81E+14

5.73E+14

5.66E+14

8.00E+00

5.58E+14

5.51E+14

5.38E+14

5.31E+14

5.25E+14

5.19E+14

5.13E+14

5.07E+14

5.01E+14

9.00E+00

4.95E+14

4.90E+14

4.79E+14

4.74E+14

4.68E+14

4.63E+14

4.59E+14

4.54E+14

4.49E+14

1.00E+01

4.45E+14

4.03E+14

3.40E+14

3.15E+14

2.94E+14

2.75E+14

2.59E+14

2.44E+14

2.31E+14

2.00E+01

2.19E+14

2.09E+14

1.90E+14

1.82E+14

1.75E+14

1.68E+14

1.62E+14

1.56E+14

1.50E+14

3.00E+01

1.45E+14

1.40E+14

1.32E+14

1.28E+14

1.24E+14

1.21E+14

1.17E+14

1.14E+14

1.11E+14

4.00E+01

1.08E+14

1.06E+14

1.01E+14

9.83E+13

9.61E+13

9.40E+13

9.20E+13

9.00E+13

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5.00E+01

8.64E+13

8.46E+13

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7.99E+13

7.84E+13

7.70E+13

7.56E+13

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7.30E+13

6.00E+01

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7.06E+13

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6.51E+13

6.42E+13

6.32E+13

6.23E+13

7.00E+01

6.14E+13

6.05E+13

5.88E+13

5.80E+13

5.72E+13

5.65E+13

5.57E+13

5.50E+13

5.43E+13

8.00E+01

5.36E+13

5.29E+13

5.16E+13

5.10E+13

5.04E+13

4.98E+13

4.92E+13

4.87E+13

4.81E+13

9.00E+01

4.76E+13

4.70E+13

4.60E+13

4.55E+13

4.50E+13

4.45E+13

4.41E+13

4.36E+13

4.32E+13

1.00E+02

4.27E+13

3.88E+13

3.28E+13

3.04E+13

2.83E+13

2.65E+13

2.50E+13

2.36E+13

2.23E+13

2.00E+02

2.12E+13

2.02E+13

1.84E+13

1.76E+13

1.69E+13

1.62E+13

1.56E+13

1.51E+13

1.45E+13

3.00E+02

1.40E+13

1.36E+13

1.27E+13

1.24E+13

1.20E+13

1.17E+13

1.14E+13

1.11E+13

1.08E+13

4.00E+02

1.05E+13

1.02E+13

9.75E+12

9.53E+12

9.31E+12

9.11E+12

8.91E+12

8.72E+12

8.54E+12

5.00E+02

8.37E+12

8.20E+12

7.89E+12

7.74E+12

7.60E+12

7.46E+12

7.33E+12

7.20E+12

7.08E+12

6.00E+02

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6.04E+12

7.00E+02

5.95E+12

5.87E+12

5.71E+12

5.63E+12

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5.48E+12

5.41E+12

5.34E+12

5.27E+12

8.00E+02

5.20E+12

5.14E+12

5.01E+12

4.95E+12

4.89E+12

4.84E+12

4.78E+12

4.72E+12

4.67E+12

9.00E+02

4.62E+12

4.57E+12

4.47E+12

4.42E+12

4.37E+12

4.33E+12

4.28E+12

4.24E+12

4.19E+12

1.00E+03

4.15E+12

3.77E+12

3.18E+12

2.95E+12

2.75E+12

2.58E+12

2.43E+12

2.29E+12

2.17E+12

2.00E+03

2.06E+12

1.96E+12

1.79E+12

1.71E+12

1.64E+12

1.58E+12

1.52E+12

1.47E+12

1.41E+12

3.00E+03

1.37E+12

1.32E+12

1.24E+12

1.20E+12

1.17E+12

1.14E+12

1.11E+12

1.08E+12

1.05E+12

4.00E+03

1.02E+12

9.97E+11

9.50E+11

9.28E+11

9.07E+11

8.87E+11

8.68E+11

8.50E+11

8.32E+11

5.00E+03

8.15E+11

7.99E+11

7.69E+11

7.54E+11

7.41E+11

7.27E+11

7.14E+11

7.02E+11

6.90E+11

GB/T 13389—2014

表 A.3 ( 续 )

电阻率

0

0.1

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7

0.8

0.9

6.00E+03

6.78E+11

6.67E+11

6.46E+11

6.35E+11

6.26E+11

6.16E+11

6.07E+11

5.98E+11

5.89E+11

7.00E+03

5.80E+11

5.72E+11

5.56E+11

5.49E+11

5.41E+11

5.34E+11

5.27E+11

5.20E+11

5.14E+11

8.00E+03

5.07E+11

5.01E+11

4.89E+11

4.83E+11

4.77E+11

4.71E+11

4.66E+11

4.61E+11

4.55E+11

9.00E+03

4.50E+11

4.45E+11

4.36E+11

4.31E+11

4.26E+11

4.22E+11

4.17E+11

4.13E+11

4.09E+11

1.00E+04

4.05E+11

3.68E+11

3.11E+11

2.88E+11

2.69E+11

2.52E+11

2.37E+11

2.24E+11

2.12E+11

2.00E+04

2.01E+11

1.91E+11

1.75E+11

1.67E+11

1.60E+11

1.54E+11

1.48E+11

1.43E+11

1.38E+11

3.00E+04

1.33E+11

1.29E+11

1.21E+11

1.18E+11

1.14E+11

1.11E+11

1.08E+11

1.05E+11

1.02E+11

4.00E+04

9.98E+10

9.74E+10

9.28E+10

9.07E+10

8.86E+10

8.67E+10

8.48E+10

8.30E+10

8.13E+10

5.00E+04

7.97E+10

7.81E+10

7.51E+10

7.37E+10

7.24E+10

7.11E+10

6.98E+10

6.86E+10

6.74E+10

6.00E+04

6.63E+10

6.52E+10

6.31E+10

6.21E+10

6.11E+10

6.02E+10

5.93E+10

5.84E+10

5.76E+10

7.00E+04

5.67E+10

5.59E+10

5.44E+10

5.36E+10

5.29E+10

5.22E+10

5.15E+10

5.09E+10

5.02E+10

8.00E+04

4.96E+10

4.90E+10

4.78E+10

4.72E+10

4.66E+10

4.61E+10

4.56E+10

4.50E+10

4.45E+10

9.00E+04

4.40E+10

4.35E+10

4.26E+10

4.21E+10

4.17E+10

4.12E+10

4.08E+10

4.04E+10

4.00E+10

表 A.4 掺磷硅单晶从掺杂剂浓度换算电阻率

浓度

0.00

0.10

0.20

0.30

0.40

0.50

0.60

0.70

0.80

0.90

1E+12

4.26E+03

3.88E+03

3.55E+03

3.28E+03

3.04E+03

2.84E+03

2.66E+03

2.51E+03

2.37E+03

2.24E+03

2E+12

2.13E+03

2.03E+03

1.93E+03

1.85E+03

1.77E+03

1.70E+03

1.64E+03

1.58E+03

1.52E+03

1.47E+03

3E+12

1.42E+03

1.37E+03

1.33E+03

1.29E+03

1.25E+03

1.22E+03

1.18E+03

1.15E+03

1.12E+03

1.09E+03

4E+12

1.06E+03

1.04E+03

1.01E+03

9.89E+02

9.66E+02

9.45E+02

9.24E+02

9.05E+02

8.86E+02

8.68E+02

5E+12

8.50E+02

8.34E+02

8.18E+02

8.02E+02

7.87E+02

7.73E+02

7.59E+02

7.46E+02

7.33E+02

7.21E+02

6E+12

7.08E+02

6.97E+02

6.86E+02

6.75E+02

6.64E+02

6.54E+02

6.44E+02

6.34E+02

6.25E+02

6.16E+02

7E+12

6.07E+02

5.99E+02

5.90E+02

5.82E+02

5.74E+02

5.67E+02

5.59E+02

5.52E+02

5.45E+02

5.38E+02

8E+12

5.31E+02

5.25E+02

5.18E+02

5.12E+02

5.06E+02

5.00E+02

4.94E+02

4.89E+02

4.83E+02

4.78E+02

9E+12

4.72E+02

4.67E+02

4.62E+02

4.57E+02

4.52E+02

4.47E+02

4.43E+02

4.38E+02

4.34E+02

4.29E+02

1E+13

4.25E+02

3.86E+02

3.54E+02

3.27E+02

3.04E+02

2.83E+02

2.66E+02

2.50E+02

2.36E+02

2.24E+02

2E+13

2.13E+02

2.03E+02

1.93E+02

1.85E+02

1.77E+02

1.70E+02

1.64E+02

1.58E+02

1.52E+02

1.47E+02

3E+13

1.42E+02

1.37E+02

1.33E+02

1.29E+02

1.25E+02

1.22E+02

1.18E+02

1.15E+02

1.12E+02

1.09E+02

4E+13

1.07E+02

1.04E+02

1.02E+02

9.92E+01

9.69E+01

9.48E+01

9.27E+01

9.08E+01

8.89E+01

8.71E+01

5E+13

8.53E+01

8.37E+01

8.21E+01

8.05E+01

7.90E+01

7.76E+01

7.62E+01

7.49E+01

7.36E+01

7.24E+01

6E+13

7.12E+01

7.00E+01

6.89E+01

6.78E+01

6.68E+01

6.57E+01

6.48E+01

6.38E+01

6.29E+01

6.20E+01

7E+13

6.11E+01

6.02E+01

5.94E+01

5.86E+01

5.78E+01

5.70E+01

5.63E+01

5.56E+01

5.49E+01

5.42E+01

8E+13

5.35E+01

5.28E+01

5.22E+01

5.16E+01

5.10E+01

5.04E+01

4.98E+01

4.92E+01

4.87E+01

4.81E+01

GB/T 13389—2014

表 A.4 ( 续 )

浓度

0.00

0.10

0.20

0.30

0.40

0.50

0.60

0.70

0.80

0.90

9E+13

4.76E+01

4.71E+01

4.66E+01

4.61E+01

4.56E+01

4.51E+01

4.46E+01

4.42E+01

4.37E+01

4.33E+01

1E+14

4.29E+01

3.90E+01

3.58E+01

3.31E+01

3.07E+01

2.87E+01

2.69E+01

2.54E+01

2.40E+01

2.27E+01

2E+14

2.16E+01

2.06E+01

1.97E+01

1.88E+01

1.80E+01

1.73E+01

1.67E+01

1.61E+01

1.55E+01

1.50E+01

3E+14

1.45E+01

1.40E+01

1.36E+01

1.32E+01

1.28E+01

1.25E+01

1.21E+01

1.18E+01

1.15E+01

1.12E+01

4E+14

1.09E+01

1.07E+01

1.04E+01

1.02E+01

9.96E+00

9.74E+00

9.53E+00

9.33E+00

9.14E+00

8.96E+00

5E+14

8.79E+00

8.62E+00

8.46E+00

8.30E+00

8.15E+00

8.01E+00

7.87E+00

7.73E+00

7.60E+00

7.48E+00

6E+14

7.36E+00

7.24E+00

7.12E+00

7.01E+00

6.91E+00

6.80E+00

6.70E+00

6.61E+00

6.51E+00

6.42E+00

7E+14

6.33E+00

6.24E+00

6.16E+00

6.08E+00

6.00E+00

5.92E+00

5.85E+00

5.77E+00

5.70E+00

5.63E+00

8E+14

5.56E+00

5.50E+00

5.43E+00

5.37E+00

5.30E+00

5.24E+00

5.19E+00

5.13E+00

5.07E+00

5.02E+00

9E+14

4.96E+00

4.91E+00

4.86E+00

4.81E+00

4.76E+00

4.71E+00

4.66E+00

4.62E+00

4.57E+00

4.53E+00

1E+15

4.48E+00

4.09E+00

3.76E+00

3.48E+00

3.24E+00

3.04E+00

2.85E+00

2.69E+00

2.55E+00

2.42E+00

2E+15

2.31E+00

2.20E+00

2.11E+00

2.02E+00

1.94E+00

1.87E+00

1.80E+00

1.74E+00

1.68E+00

1.62E+00

3E+15

1.57E+00

1.53E+00

1.48E+00

1.44E+00

1.40E+00

1.36E+00

1.33E+00

1.29E+00

1.26E+00

1.23E+00

4E+15

1.20E+00

1.18E+00

1.15E+00

1.12E+00

1.10E+00

1.08E+00

1.06E+00

1.04E+00

1.02E+00

9.97E-01

5E+15

9.78E-01

9.61E-01

9.44E-01

9.27E-01

9.12E-01

8.97E-01

8.82E-01

8.68E-01

8.54E-01

8.41E-01

6E+15

8.28E-01

8.16E-01

8.04E-01

7.92E-01

7.81E-01

7.70E-01

7.59E-01

7.49E-01

7.39E-01

7.29E-01

7E+15

7.20E-01

7.11E-01

7.02E-01

6.93E-01

6.85E-01

6.76E-01

6.68E-01

6.60E-01

6.53E-01

6.45E-01

8E+15

6.38E-01

6.31E-01

6.24E-01

6.17E-01

6.11E-01

6.04E-01

5.98E-01

5.92E-01

5.86E-01

5.80E-01

9E+15

5.74E-01

5.69E-01

5.63E-01

5.58E-01

5.52E-01

5.47E-01

5.42E-01

5.37E-01

5.32E-01

5.28E-01

1E+16

5.23E-01

4.81E-01

4.45E-01

4.15E-01

3.89E-01

3.67E-01

3.47E-01

3.30E-01

3.14E-01

3.00E-01

2E+16

2.87E-01

2.76E-01

2.65E-01

2.56E-01

2.47E-01

2.39E-01

2.31E-01

2.24E-01

2.17E-01

2.11E-01

3E+16

2.06E-01

2.00E-01

1.95E-01

1.90E-01

1.86E-01

1.82E-01

1.78E-01

1.74E-01

1.70E-01

1.67E-01

4E+16

1.64E-01

1.61E-01

1.58E-01

1.55E-01

1.52E-01

1.49E-01

1.47E-01

1.44E-01

1.42E-01

1.40E-01

5E+16

1.38E-01

1.36E-01

1.34E-01

1.32E-01

1.30E-01

1.28E-01

1.27E-01

1.25E-01

1.23E-01

1.22E-01

6E+16

1.20E-01

1.19E-01

1.17E-01

1.16E-01

1.15E-01

1.13E-01

1.12E-01

1.11E-01

1.10E-01

1.09E-01

7E+16

1.08E-01

1.06E-01

1.05E-01

1.04E-01

1.03E-01

1.02E-01

1.01E-01

1.00E-01

9.95E-02

9.87E-02

8E+16

9.78E-02

9.69E-02

9.61E-02

9.53E-02

9.45E-02

9.37E-02

9.30E-02

9.22E-02

9.15E-02

9.08E-02

9E+16

9.01E-02

8.94E-02

8.87E-02

8.81E-02

8.74E-02

8.68E-02

8.62E-02

8.56E-02

8.50E-02

8.44E-02

1E+17

8.38E-02

7.86E-02

7.43E-02

7.05E-02

6.72E-02

6.44E-02

6.19E-02

5.96E-02

5.76E-02

5.57E-02

2E+17

5.41E-02

5.25E-02

5.11E-02

4.98E-02

4.87E-02

4.75E-02

4.65E-02

4.55E-02

4.46E-02

4.38E-02

3E+17

4.30E-02

4.22E-02

4.15E-02

4.08E-02

4.02E-02

3.96E-02

3.90E-02

3.85E-02

3.79E-02

3.74E-02

4E+17

3.69E-02

3.65E-02

3.60E-02

3.56E-02

3.52E-02

3.48E-02

3.44E-02

3.40E-02

3.37E-02

3.33E-02

5E+17

3.30E-02

3.27E-02

3.23E-02

3.20E-02

3.17E-02

3.15E-02

3.12E-02

3.09E-02

3.07E-02

3.04E-02

6E+17

3.01E-02

2.99E-02

2.97E-02

2.94E-02

2.92E-02

2.90E-02

2.88E-02

2.86E-02

2.84E-02

2.82E-02

GB/T 13389—2014

表 A.4 ( 续 )

浓度

0.00

0.10

0.20

0.30

0.40

0.50

0.60

0.70

0.80

0.90

7E+17

2.80E-02

2.78E-02

2.76E-02

2.74E-02

2.72E-02

2.71E-02

2.69E-02

2.67E-02

2.66E-02

2.64E-02

8E+17

2.62E-02

2.61E-02

2.59E-02

2.58E-02

2.56E-02

2.55E-02

2.53E-02

2.52E-02

2.51E-02

2.49E-02

9E+17

2.48E-02

2.47E-02

2.45E-02

2.44E-02

2.43E-02

2.41E-02

2.40E-02

2.39E-02

2.38E-02

2.37E-02

1E+18

2.36E-02

2.25E-02

2.16E-02

2.07E-02

2.00E-02

1.93E-02

1.87E-02

1.81E-02

1.76E-02

1.71E-02

2E+18

1.66E-02

1.62E-02

1.58E-02

1.54E-02

1.51E-02

1.47E-02

1.44E-02

1.41E-02

1.38E-02

1.35E-02

3E+18

1.32E-02

1.30E-02

1.27E-02

1.25E-02

1.23E-02

1.21E-02

1.19E-02

1.17E-02

1.15E-02

1.13E-02

4E+18

1.11E-02

1.09E-02

1.08E-02

1.06E-02

1.04E-02

1.03E-02

1.01E-02

1.00E-02

9.86E-03

9.73E-03

5E+18

9.60E-03

9.47E-03

9.34E-03

9.22E-03

9.11E-03

8.99E-03

8.88E-03

8.77E-03

8.66E-03

8.56E-03

6E+18

8.46E-03

8.36E-03

8.27E-03

8.17E-03

8.08E-03

7.99E-03

7.90E-03

7.82E-03

7.74E-03

7.65E-03

7E+18

7.57E-03

7.50E-03

7.42E-03

7.34E-03

7.27E-03

7.20E-03

7.13E-03

7.06E-03

6.99E-03

6.92E-03

8E+18

6.86E-03

6.79E-03

6.73E-03

6.67E-03

6.61E-03

6.55E-03

6.49E-03

6.44E-03

6.38E-03

6.32E-03

9E+18

6.27E-03

6.22E-03

6.16E-03

6.11E-03

6.06E-03

6.01E-03

5.96E-03

5.92E-03

5.87E-03

5.82E-03

1E+19

5.78E-03

5.35E-03

4.99E-03

4.68E-03

4.40E-03

4.15E-03

3.93E-03

3.73E-03

3.56E-03

3.39E-03

2E+19

3.25E-03

3.11E-03

2.99E-03

2.87E-03

2.77E-03

2.67E-03

2.58E-03

2.49E-03

2.41E-03

2.34E-03

3E+19

2.27E-03

2.20E-03

2.14E-03

2.08E-03

2.03E-03

1.98E-03

1.93E-03

1.88E-03

1.84E-03

1.79E-03

4E+19

1.75E-03

1.71E-03

1.68E-03

1.64E-03

1.61E-03

1.58E-03

1.54E-03

1.51E-03

1.49E-03

1.46E-03

5E+19

1.43E-03

1.41E-03

1.38E-03

1.36E-03

1.34E-03

1.31E-03

1.29E-03

1.27E-03

1.25E-03

1.23E-03

6E+19

1.21E-03

1.20E-03

1.18E-03

1.16E-03

1.15E-03

1.13E-03

1.11E-03

1.10E-03

1.09E-03

1.07E-03

7E+19

1.06E-03

1.04E-03

1.03E-03

1.02E-03

1.01E-03

9.94E-04

9.82E-04

9.71E-04

9.60E-04

9.49E-04

8E+19

9.38E-04

9.28E-04

9.18E-04

9.08E-04

8.98E-04

8.89E-04

8.80E-04

8.71E-04

8.62E-04

8.53E-04

9E+19

8.45E-04

8.37E-04

8.29E-04

8.21E-04

8.13E-04

8.06E-04

7.98E-04

7.91E-04

7.84E-04

7.77E-04

1E+20

7.70E-04

7.09E-04

6.57E-04

6.13E-04

5.76E-04

5.43E-04

5.15E-04

4.89E-04

4.67E-04

4.47E-04

2E+20

4.29E-04

4.12E-04

3.97E-04

3.84E-04

3.71E-04

3.60E-04

3.49E-04

3.39E-04

3.30E-04

3.21E-04

3E+20

3.14E-04

3.06E-04

2.99E-04

2.93E-04

2.86E-04

2.81E-04

2.75E-04

2.70E-04

2.65E-04

2.61E-04

4E+20

2.56E-04

2.52E-04

2.48E-04

2.44E-04

2.41E-04

2.37E-04

2.34E-04

2.31E-04

2.28E-04

2.25E-04

5E+20

2.22E-04

2.20E-04

2.17E-04

2.15E-04

2.12E-04

2.10E-04

2.08E-04

2.06E-04

2.04E-04

2.02E-04

6E+20

2.00E-04

1.98E-04

1.96E-04

1.95E-04

1.93E-04

1.92E-04

1.90E-04

1.89E-04

1.87E-04

1.86E-04

7E+20

1.85E-04

1.83E-04

1.82E-04

1.81E-04

1.80E-04

1.79E-04

1.78E-04

1.77E-04

1.76E-04

1.75E-04

8E+20

1.74E-04

1.73E-04

1.72E-04

1.71E-04

1.70E-04

1.69E-04

1.69E-04

1.68E-04

1.67E-04

1.66E-04

9E+20

1.66E-04

1.65E-04

1.64E-04

1.64E-04

1.63E-04

1.63E-04

1.62E-04

1.61E-04

1.61E-04

1.60E-04

GB/T 13389—2014

表 A.5 掺砷硅单晶从掺杂剂浓度换算电阻率

掺杂剂浓度

0

0.1

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7

0.8

0.9

1.00E+19

5.55E-03

5.34E-03

5.12E-03

4.89E-03

4.67E-03

4.46E-03

4.26E-03

4.08E-03

3.90E-03

3.74E-03

2.00E+19

3.59E-03

3.44E-03

3.31E-03

3.19E-03

3.07E-03

2.97E-03

2.87E-03

2.77E-03

2.68E-03

2.60E-03

3.00E+19

2.52E-03

2.45E-03

2.38E-03

2.32E-03

2.26E-03

2.20E-03

2.15E-03

2.10E-03

2.05E-03

2.00E-03

4.00E+19

1.96E-03

1.91E-03

1.88E-03

1.84E-03

1.80E-03

1.77E-03

1.73E-03

1.70E-03

1.67E-03

1.64E-03

5.00E+19

1.62E-03

1.59E-03

1.56E-03

1.54E-03

1.52E-03

1.49E-03

1.47E-03

1.45E-03

1.43E-03

1.41E-03

6.00E+19

1.39E-03

1.38E-03

1.36E-03

1.34E-03

1.32E-03

1.31E-03

1.29E-03

1.28E-03

1.26E-03

1.25E-03

7.00E+19

1.24E-03

1.22E-03

1.21E-03

1.20E-03

1.19E-03

1.18E-03

1.16E-03

1.15E-03

1.14E-03

1.13E-03

8.00E+19

1.12E-03

1.11E-03

1.10E-03

1.09E-03

1.08E-03

1.07E-03

1.07E-03

1.06E-03

1.05E-03

1.04E-03

9.00E+19

1.03E-03

1.03E-03

1.02E-03

1.01E-03

1.00E-03

9.97E-04

9.90E-04

9.83E-04

9.76E-04

9.70E-04

1.00E+20

9.64E-04

9.07E-04

8.59E-04

8.19E-04

7.84E-04

7.54E-04

7.26E-04

7.02E-04

6.80E-04

6.60E-04

2.00E+20

6.41E-04

6.24E-04

6.07E-04

5.92E-04

5.77E-04

5.63E-04

5.50E-04

5.38E-04

5.25E-04

5.14E-04

3.00E+20

5.02E-04

4.91E-04

4.81E-04

4.70E-04

4.60E-04

4.50E-04

4.41E-04

4.31E-04

4.22E-04

4.13E-04

4.00E+20

4.05E-04

3.96E-04

3.88E-04

3.79E-04

3.71E-04

3.64E-04

3.56E-04

3.48E-04

3.41E-04

3.34E-04

5.00E+20

3.26E-04

3.19E-04

3.13E-04

3.06E-04

2.99E-04

2.93E-04

2.86E-04

2.80E-04

2.74E-04

2.68E-04

6.00E+20

2.62E-04

2.56E-04

2.51E-04

2.45E-04

2.40E-04

2.34E-04

2.29E-04

2.24E-04

2.19E-04

2.14E-04

注：当砷的掺杂浓度低于10cm⁻ 时，砷掺杂剂浓度换算电阻率可按掺磷。

表 A.6 掺硼硅单晶电阻率与载流子(空穴)浓度的换算

电阻率

0

0.1

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7

0.8

0.9

1.00E-04

1.17E+21

1.07E+21

9.76E+20

9.00E+20

8.36E+20

7.79E+20

7.30E+20

6.87E+20

6.48E+20

6.14E+20

2.00E-04

5.83E+20

5.55E+20

5.30E+20

5.06E+20

4.85E+20

4.66E+20

4.47E+20

4.31E+20

4.15E+20

4.01E+20

3.00E-04

3.87E+20

3.75E+20

3.63E+20

3.52E+20

3.41E+20

3.32E+20

3.22E+20

3.14E+20

3.05E+20

2.97E+20

4.00E-04

2.90E+20

2.83E+20

2.76E+20

2.69E+20

2.63E+20

2.57E+20

2.52E+20

2.46E+20

2.41E+20

2.36E+20

5.00E-04

2.31E+20

2.27E+20

2.23E+20

2.18E+20

2.14E+20

2.10E+20

2.07E+20

2.03E+20

1.99E+20

1.96E+20

6.00E-04

1.93E+20

1.90E+20

1.86E+20

1.83E+20

1.81E+20

1.78E+20

1.75E+20

1.72E+20

1.70E+20

1.67E+20

7.00E-04

1.65E+20

1.63E+20

1.60E+20

1.58E+20

1.56E+20

1.54E+20

1.52E+20

1.50E+20

1.48E+20

1.46E+20

8.00E-04

1.44E+20

1.42E+20

1.41E+20

1.39E+20

1.37E+20

1.36E+20

1,34E+20

1.33E+20

1.31E+20

1.30E+20

9.00E-04

1.28E+20

1.27E+20

1.25E+20

1.24E+20

1.23E+20

1.21E+20

1.20E+20

1.19E+20

1.18E+20

1.16E+20

1.00E-03

1.15E+20

1.05E+20

9.60E+19

8.85E+19

8.21E+19

7.66E+19

7.17E+19

6.74E+19

6.36E+19

6.02E+19

2.00E-03

5.71E+19

5.43E+19

5.17E+19

4.94E+19

4.72E+19

4.52E+19

4.34E+19

4.17E+19

4.01E+19

3.86E+19

3.00E-03

3.72E+19

3.59E+19

3.47E+19

3.35E+19

3.24E+19

3.14E+19

3.04E+19

2.95E+19

2.86E+19

2.78E+19

4.00E-03

2.70E+19

2.62E+19

2.55E+19

2.48E+19

2.41E+19

2.35E+19

2.28E+19

2.23E+19

2.17E+19

2.12E+19

5.00E-03

2.06E+19

2.01E+19

1.97E+19

1.92E+19

1.87E+19

1.83E+19

1.79E+19

1.75E+19

1.71E+19

1.67E+19

GB/T 13389—2014

表 A.6 ( 续 )

电阻率

0

0.1

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

 0.7

0.8

0.9

6.00E-03

1.64E+19

1.60E+19

1.57E+19

1.53E+19

1.50E+19

1.47E+19

1.44E+19

1.41E+19

1.39E+19

1.36E+19

7.00E-03

1.33E+19

1.31E+19

1.28E+19

1.26E+19

1.23E+19

1.21E+19

1.19E+19

1.17E+19

1.14E+19

1.12E+19

8.00E-03

1.10E+19

1.09E+19

1.07E+19

1.05E+19

1.03E+19

1.01E+19

9.95E+18

9.79E+18

9.62E+18

9.47E+18

9.00E-03

9.31E+18

9.16E+18

9.02E+18

8.87E+18

8.73E+18

8.60E+18

8.46E+18

8.33E+18

8.21E+18

8.08E+18

1.00E-02

7.96E+18

6.89E+18

6.02E+18

5.31E+18

4.73E+18

4.24E+18

3.82E+18

3.47E+18

3.17E+18

2.91E+18

2.00E-02

2.68E+18

2.48E+18

2.30E+18

2.14E+18

2.00E+18

1.88E+18

1.76E+18

1.66E+18

1.57E+18

1.49E+18

3.00E-02

1.41E+18

1.34E+18

1.27E+18

1.22E+18

1.16E+18

1.11E+18

1.06E+18

1.02E+18

9.78E+17

9.40E+17

4.00E-02

9.05E+17

8.71E+17

8.40E+17

8.11E+17

7.83E+17

7.57E+17

7.32E+17

7.09E+17

6.87E+17

6.66E+17

5.00E-02

6.47E+17

6.28E+17

6.10E+17

5.93E+17

5.77E+17

5.62E+17

5.47E+17

5.33E+17

5.20E+17

5.07E+17

6.00E-02

4.94E+17

4.83E+17

4.71E+17

4.61E+17

4.50E+17

4.40E+17

4.31E+17

4.21E+17

4.13E+17

4.04E+17

7.00E-02

3.96E+17

3.88E+17

3.80E+17

3.73E+17

3.66E+17

3.59E+17

3.52E+17

3.45E+17

3.39E+17

3.33E+17

8.00E-02

3.27E+17

3.22E+17

3.16E+17

3.11E+17

3.06E+17

3.01E+17

2.96E+17

2.91E+17

2.86E+17

2.82E+17

9.00E-02

2.78E+17

2.73E+17

2.69E+17

2.65E+17

2.61E+17

2.57E+17

2.54E+17

2.50E+17

2.47E+17

2.43E+17

1.00E-01

2.40E+17

2.11E+17

1.87E+17

1.68E+17

1.52E+17

1.39E+17

1.28E+17

1.18E+17

1.10E+17

1.03E+17

2.00E-01

9.62E+16

9.04E+16

8.53E+16

8.07E+16

7.65E+16

7.28E+16

6.93E+16

6.62E+16

6.33E+16

6.07E+16

3.00E-01

5.82E+16

5.60E+16

5.39E+16

5.19E+16

5.01E+16

4.84E+16

4.68E+16

4.53E+16

4.39E+16

4.26E+16

4.00E-01

4.13E+16

4.01E+16

3.90E+16

3.79E+16

3.69E+16

3.60E+16

3.51E+16

3.42E+16

3.34E+16

3.26E+16

5.00E-01

3.19E+16

3.11E+16

3.04E+16

2.98E+16

2.92E+16

2.86E+16

2.80E+16

2.74E+16

2.69E+16

2.64E+16

6.00E-01

2.59E+16

2.54E+16

2.49E+16

2.45E+16

2.40E+16

2.36E+16

2.32E+16

2.28E+16

2.24E+16

2.21E+16

7.00E-01

2.17E+16

2.14E+16

2.11E+16

2.07E+16

2.04E+16

2.01E+16

1.98E+16

1.95E+16

1.93E+16

1.90E+16

8.00E-01

1.87E+16

1.85E+16

1.82E+16

1.80E+16

1.77E+16

1.75E+16

1.73E+16

1.71E+16

1.68E+16

1.66E+16

9.00E-01

1.64E+16

1.62E+16

1.60E+16

1.59E+16

1.57E+16

1.55E+16

1.53E+16

1.51E+16

1.50E+16

1.48E+16

1.00E+00

1.46E+16

1.32E+16

1.20E+16

1.10E+16

1.02E+16

9.44E+15

8.81E+15

8.26E+15

7.77E+15

7.34E+15

2.00E+00

6.95E+15

6.60E+15

6.29E+15

6.00E+15

5.74E+15

5.50E+15

5.28E+15

5.07E+15

4.88E+15

4.71E+15

3.00E+00

4.54E+15

4.39E+15

4.25E+15

4.11E+15

3.99E+15

3.87E+15

3.76E+15

3.65E+15

3.55E+15

3.46E+15

4.00E+00

3.37E+15

3.29E+15

3.21E+15

3.13E+15

3.06E+15

2.99E+15

2.92E+15

2.85E+15

2.79E+15

2.73E+15

5.00E+00

2.68E+15

2.62E+15

2.57E+15

2.52E+15

2.47E+15

2.43E+15

2.38E+15

2.34E+15

2.30E+15

2.26E+15

6.00E+00

2.22E+15

2.18E+15

2.15E+15

2.11E+15

2.08E+15

2.05E+15

2.01E+15

1.98E+15

1.95E+15

1.93E+15

7.00E+00

1.90E+15

1.87E+15

1.84E+15

1.82E+15

1.79E+15

1.77E+15

1.74E+15

1.72E+15

1.70E+15

1.68E+15

8.00E+00

1.66E+15

1.63E+15

1.61E+15

1.59E+15

1.58E+15

1.56E+15

1.54E+15

1.52E+15

1.50E+15

1.49E+15

9.00E+00

1.47E+15

1.45E+15

1.44E+15

1.42E+15

1.40E+15

1.39E+15

1.38E+15

1.36E+15

1.35E+15

1.33E+15

1.00E+01

1.32E+15

1.20E+15

1.10E+15

1.01E+15

9.38E+14

8.75E+14

8.19E+14

7.71E+14

7.27E+14

6.89E+14

2.00E+01

6.54E+14

6.23E+14

5.94E+14

5.68E+14

5.44E+14

5.22E+14

5.02E+14

4.83E+14

4.66E+14

4.50E+14

3.00E+01

4.35E+14

4.20E+14

4.07E+14

3.95E+14

3.83E+14

3.72E+14

3.62E+14

3.52E+14

3.43E+14

3.34E+14

GB/T 13389—2014

表 A.6 ( 续 )

电阻率

0

0.1

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7

0.8

0.9

4.00E+01

3.25E+14

3.17E+14

3.10E+14

3.03E+14

2.96E+14

2.89E+14

2.83E+14

2.77E+14

2.71E+14

2.65E+14

5.00E+01

2.60E+14

2.55E+14

2.50E+14

2.45E+14

2.41E+14

2.36E+14

2.32E+14

2.28E+14

2.24E+14

2.20E+14

6.00E+01

2.17E+14

2.13E+14

2.09E+14

2.06E+14

2.03E+14

2.00E+14

1.97E+14

1.94E+14

1.91E+14

1.88E+14

7.00E+01

1.85E+14

1.83E+14

1.80E+14

1.78E+14

1.75E+14

1.73E+14

1.71E+14

1.69E+14

1.66E+14

1.64E+14

8.00E+01

1.62E+14

1.60E+14

1.58E+14

1.56E+14

1.54E+14

1.53E+14

1.51E+14

1.49E+14

1.47E+14

1.46E+14

9.00E+01

1.44E+14

1.43E+14

1.41E+14

1.39E+14

1.38E+14

1.37E+14

1.35E+14

1.34E+14

1.32E+14

1.31E+14

1.00E+02

1.30E+14

1.18E+14

1.08E+14

9.97E+13

9.26E+13

8.64E+13

8.10E+13

7.62E+13

7.20E+13

6.82E+13

2.00E+02

6.48E+13

6.17E+13

5.89E+13

5.63E+13

5.40E+13

5.18E+13

4.98E+13

4.80E+13

4.62E+13

4.46E+13

3.00E+02

4.32E+13

4.18E+13

4.05E+13

3.92E+13

3.81E+13

3.70E+13

3.60E+13

3.50E+13

3.41E+13

3.32E+13

4.00E+02

3.24E+13

3.16E+13

3.08E+13

3.01E+13

2.94E+13

2.88E+13

2.81E+13

2.75E+13

2.70E+13

2.64E+13

5.00E+02

2.59E+13

2.54E+13

2.49E+13

2.44E+13

2.40E+13

2.35E+13

2.31E+13

2.27E+13

2.23E+13

2.19E+13

6.00E+02

2.16E+13

2.12E+13

2.09E+13

2.05E+13

2.02E+13

1.99E+13

1.96E+13

1.93E+13

1.90E+13

1.87E+13

7.00E+02

1.85E+13

1.82E+13

1.80E+13

1.77E+13

1.75E+13

1.72E+13

1.70E+13

1.68E+13

1.66E+13

1.64E+13

8.00E+02

1.62E+13

1.60E+13

1.58E+13

1.56E+13

1.54E+13

1.52E+13

1.50E+13

1.49E+13

1.47E+13

1.45E+13

9.00E+02

1.44E+13

1.42E+13

1.41E+13

1.39E+13

1.38E+13

1.36E+13

1.35E+13

1.33E+13

1.32E+13

1.31E+13

1.00E+03

1.29E+13

1.18E+13

1.08E+13

9.95E+12

9.24E+12

8.62E+12

8.08E+12

7.61E+12

7.18E+12

6.81E+12

2.00E+03

6.47E+12

6.16E+12

5.88E+12

5.62E+12

5.39E+12

5.17E+12

4.97E+12

4.79E+12

4.62E+12

4.46E+12

3.00E+03

4.31E+12

4.17E+12

4.04E+12

3.92E+12

3.80E+12

3.69E+12

3.59E+12

3.49E+12

3.40E+12

3.32E+12

4.00E+03

3.23E+12

3.15E+12

3.08E+12

3.01E+12

2.94E+12

2.87E+12

2.81E+12

2.75E+12

2.69E+12

2.64E+12

5.00E+03

2.59E+12

2.54E+12

2.49E+12

2.44E+12

2.39E+12

2.35E+12

2.31E+12

2.27E+12

2.23E+12

2.19E+12

6.00E+03

2.16E+12

2.12E+12

2.09E+12

2.05E+12

2.02E+12

1.99E+12

1.96E+12

1.93E+12

1.90E+12

1.87E+12

7.00E+03

1.85E+12

1.82E+12

1.80E+12

1.77E+12

1.75E+12

1.72E+12

1.70E+12

1.68E+12

1.66E+12

1.64E+12

8.00E+03

1.62E+12

1.60E+12

1.58E+12

1.56E+12

1.54E+12

1.52E+12

1.50E+12

1.49E+12

1.47E+12

1.45E+12

9.00E+03

1.44E+12

1.42E+12

1.41E+12

1.39E+12

1.38E+12

1.36E+12

1.35E+12

1.33E+12

1.32E+12

1.31E+12

1.00E+04

1.29E+12

1.18E+12

1.08E+12

9.95E+11

9.24E+11

8.62E+11

8.08E+11

7.61E+11

7.18E+11

6.80E+11

2.00E+04

6.46E+11

6.16E+11

5.88E+11

5.62E+11

5.39E+11

5.17E+11

4.97E+11

4.79E+11

4.62E+11

4.46E+11

3.00E+04

4.31E+11

4.17E+11

4.04E+11

3.92E+11

3.80E+11

3.69E+11

3.59E+11

3.49E+11

3.40E+11

3.32E+11

4.00E+04

3.23E+11

3.15E+11

3.08E+11

3.01E+11

2.94E+11

2.87E+11

2.81E+11

2.75E+11

2.69E+11

2.64E+11

5.00E+04

2.59E+11

2.54E+11

2.49E+11

2.44E+11

2.39E+11

2.35E+11

2.31E+11

2.27E+11

2.23E+11

2.19E+11

6.00E+04

2.15E+11

2.12E+11

2.09E+11

2.05E+11

2.02E+11

1.99E+11

1.96E+11

1.93E+11

1.90E+11

1.87E+11

7.00E+04

1.85E+11

1.82E+11

1.80E+11

1.77E+11

1.75E+11

1.72E+11

1.70E+11

1.68E+11

1.66E+11

1.64E+11

8.00E+04

1.62E+11

1.60E+11

1.58E+11

1.56E+11

1.54E+11

1.52E+11

1.50E+11

1.49E+11

1.47E+11

1.45E+11

9.00E+04

1.44E+11

1.42E+11

1.41E+11

1.39E+11

1.38E+11

1.36E+11

1.35E+11

1.33E+11

1.32E+11

1.31E+11

GB/T 13389—2014

表 A.7 掺磷硅单晶电阻率与载流子(电子)浓度的换算

电阻率

0.00E+00

0.1

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

 0.7

0.8

0.9

1.00E-04

2.43E+27

8.55E+24

5.76E+23

1.17E+23

4.01E+22

1.86E+22

1.04E+22

6.53E+21

4.48E+21

3.27E+21

2.00E-04

2.50E+21

1.99E+21

1.62E+21

1.36E+21

1.16E+21

1.00E+21

8.78E+20

7.79E+20

6.99E+20

6.31E+20

3.00E-04

5.75E+20

5.27E+20

4.85E+20

4.50E+20

4.19E+20

3.91E+20

3.67E+20

3.45E+20

3.26E+20

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GB/T 13389—2014

表 A.7 ( 续 )

电阻率

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GB/T 13389—2014

表 A.7 ( 续 )

电阻率

0.00E+00

0.1

0.2

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6.51E+11

6.41E+11

6.31E+11

6.22E+11

7.00E+03

6.13E+11

6.05E+11

5.96E+11

5.88E+11

5.80E+11

5.73E+11

5.65E+11

5.58E+11

5.51E+11

5.44E+11

8.00E+03

5.37E+11

5.30E+11

5.24E+11

5.17E+11

5.11E+11

5.05E+11

4.99E+11

4.94E+11

4.88E+11

4.83E+11

9.00E+03

4.77E+11

4.72E+11

4.67E+11

4.62E+11

4.57E+11

4.52E+11

4.47E+11

4.43E+11

4.38E+11

4.34E+11

1.00E+04

4.29E+11

3.90E+11

3.58E+11

3.30E+11

3.07E+11

2.86E+11

2.68E+11

2.53E+11

2.39E+11

2.26E+11

2.00E+04

2.15E+11

2.05E+11

1.95E+11

1.87E+11

1.79E+11

1.72E+11

1.65E+11

1.59E+11

1.53E+11

1.48E+11

3.00E+04

1.43E+11

1.39E+11

1.34E+11

1.30E+11

1.26E+11

1.23E+11

1.19E+11

1.16E+11

1.13E+11

1.10E+11

4.00E+04

1.07E+11

1.05E+11

1.02E+11

9.99E+10

9.77E+10

9.55E+10

9.34E+10

9.14E+10

8.95E+10

8.77E+10

5.00E+04

8.60E+10

8.43E+10

8.27E+10

8.11E+10

7.96E+10

7.81E+10

7.68E+10

7.54E+10

7.41E+10

7.29E+10

6.00E+04

7.16E+10

7.05E+10

6.93E+10

6.82E+10

6.72E+10

6.61E+10

6.51E+10

6.42E+10

6.32E+10

6.23E+10

7.00E+04

6.14E+10

6.05E+10

5.97E+10

5.89E+10

5.81E+10

5.73E+10

5.66E+10

5.58E+10

5.51E+10

5.44E+10

8.00E+04

5.37E+10

5.31E+10

5.24E+10

5.18E+10

5.12E+10

5.06E+10

5.00E+10

4.94E+10

4.89E+10

4.83E+10

9.00E+04

4.78E+10

4.72E+10

4.67E+10

4.62E+10

4.57E+10

4.53E+10

4.48E+10

4.43E+10

4.39E+10

4.34E+10

GB/T 13389—2014

附 录 B

(资料性附录)

IRVIN 的比较试验

B.1 Irvin 报告了300 K 的 N 型 和 P
型硅单晶电阻率与掺杂剂浓度间的换算关系(导电类型的测试方
法详见GB/T1550), 并且用杂质浓度代替掺杂剂浓度。 Irvin
的分析是基于几个在硅中施主和受主的

数据，这数据是由Irvin在重掺砷和重掺硼样品上补充。

B.2
所有样品都是假定没有补偿的，但实际上在直拉单晶中因为氧的热激活，补偿的可能性是公认的。

B.3 Irvin 对 N 型和 P 型硅单晶提供的数据的一系列线性近似拟合，得到式
B.1:

p=(1/BNi) ……… … …(B. 1)

式中：

p - 电阻率，单位为欧姆厘米(Ω ·cm);

N₁—— 净施主或受主浓度，单位为每立方厘米(cm⁻³);

α 和B 分别是在表 B.1 和表 B.2 中 对N 型 和 P
型硅单晶给出的各种掺杂范围。

表 B.1 N 型硅单晶的α和B 常数数值

净施主掺杂剂范围

cm-3

a

B

2.35×10²0≤Np

0.456

1.04×10-6

6×10¹⁹ ≤Np≤2.35×1020

0.744

1.43×10-12

9.5×10¹⁸ ≤Np≤6×10¹°

0.940

2×10-16

1×10¹⁷ ≤Np≤9.50×10¹8

0.543

6.93×10-9

3.50×10¹⁵ ≤Np≤1×10¹7

0.837

6.97×10-1

Np≤3.50×10¹⁵

1

2×10-16

表 B.2 P 型硅单晶的α和 B 常数数值

净受主掺杂剂范围

cm-3

a

B

1.50×10¹⁰ ≤Nx

0.966

-4×10-17

2.40×10¹⁸ ≤Nʌ ≤1.50×1019

0.832

1.47×10-14

1.50×10¹⁶ ≤Nʌ ≤2.40×1018

0.650

3.30×10-1

Na≤1.50×1016

1

7.20×10-17

B.4 由 Irvin 在图B. 1
中给出的是依据实践给出的换算与通过掺杂剂给出的电阻率间的比较。其中的
曲线是由公式B.1
得到电阻率，通过式(4)或式(2)从掺杂剂浓度计算电阻率，计算两者间的差异，然后

将这些差异绘出。

GB/T 13389—2014

style="width:6.61996in;height:4.4066in" />

电阻率/(Ω ·cm)

图 B.1
在实践的基础上从掺杂剂浓度换算电阻率与本标准中公式换算的比较

B.5
曲线上出现的不连续是因为使用了一系列的直线近似，经过验证，在转换点偏离真值超过10%。

B.6 注意对掺硼最大的矛盾约在电阻率范围0.08Ω ·cm 。 这是由于事实上
Irvin 的样品是掺铝的，它

不同于硼有足够的激活能，这两个掺杂剂在室温下电离能差异值得注意。

GB/T 13389—2014

延伸阅读

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